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[1]程莉莉,余冬冬,邓晓清,等.玻璃-PDMS微流控芯片制备工艺[J].武汉工程大学学报,2009,(01):58-61.
　CHENG Li li,YU Dong dong,DENG Xiao qing,et al.Fabrication of glass/ PDMS microfluidic chips[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2009,(01):58-61.
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玻璃-PDMS微流控芯片制备工艺()
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
期数:
2009年01期
页码:
58-61
栏目:
资源与土木工程
出版日期:
2009-01-28

文章信息/Info

Title:
Fabrication of glass/ PDMS microfluidic chips
文章编号:
16742869(2009)01005804
作者:
程莉莉1; 2; 余冬冬1; 2; 邓晓清1; 2; 王升高1; 2; 3*; 李艳琼1; 2; 汪建华1; 2; 3
1.武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北 武汉 430074；
2.武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北 武汉 430074；
3.绿色化工过程省部共建教育部重点实验室，湖北 武汉 430074
Author(s):
CHENG Lili1; 2; YU Dongdong1; 2; DENG Xiaoqing1; 2; WANG Shenggao1; 2; 3; LI Yanqiong1; 2; WANG Jianhua1; 2; 3
1.Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials of Hubei Province，Wuhan 430074，China；
2.School of Material Science and Engineering，Wuhan Institute of Technology，Wuhan 430074，China；
3.Key Laboratory for Green Chemical Process of Ministry of Education，Wuhan 430074，China
关键词:
微流控芯片; PDMS; 电渗; 电泳
Keywords:
microfluidic chips; PDMS; electroendosmosis; electrophoresis
分类号:
O657
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
以玻璃为基片的微流控芯片在制备方面存在制作成本偏高及加工周期较长等问题.本研究以廉价的载玻片为微流控芯片基片材料，以铬膜为牺牲层，通过优化光刻和湿法刻蚀工艺，得出较为优异的湿法刻蚀条件，制备出了较佳结构的玻璃微沟道.将其与PDMS进行不可逆封接后，获得了玻璃PDMS芯片.该工艺简单，且有效地降低了芯片的制作成本.电渗性能测试结果表明，该芯片电渗性能稳定、良好.
Abstract:
There are many problems on the preparation of microfluidic chip with the slide glass as substrate，such as the high manufacture cost and the longproducing cycle. After optimizing lithography and wetetching techniques，the glass channel with the slide glass as the substrate material was made. Then the glass with channel was sealed with poly（dimethylsiloxane） PDMS and received the glass/ PDMS microfluidic chips at last. This method was easy and also could decrease the fabricating cost. The result of electroosmosis study shows that the performance of this chip was steady and great.

参考文献/References:

［1］罗怡，娄志峰，褚德南，等. 玻璃微流控芯片的制作［J］.纳米技术与精密工程，2004，2 （1） ：2023.
［2］林炳承，秦建华. 微流控芯片实验室［M］. 北京：科学出版社，2006:417.
［3］Felix C Leinweber，Jan C T Eijkel，Johan G Bomer，et al. Continuous Flow Microfluidic Demixing of Electrolytes by Induced Charge Electrokinetics in Structured Electrode Arrays［J］. Anal Chem，2006，78（5）：14251434.
［4］Jesus M Ruano，Vincent Benoit，J Stewart Aitchison，et al. Flame Hydrolysis Deposition of Glass on Silicon for the Integration of Optical and Microfluidic Devices［J］. Anal Chem，2000，72（5）：10931097.
［5］Jan Lichtenberg，Nico F de Rooij，Elisabeth Verpoorte. A microchip electrophoresis system with integrated inplane electrodes for contactless conductivity detection［J］. Electrophoresis，2002，23（21）：37693780.
［6］陈强，李刚，潘爱平，等. 玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究［J］.化学学报，2007，65（17）：18631868.
［7］Huang X，Gordon M J，Zare R N. CurrentMonitoring Method for Measuring the Electroosmotic Flow Rate in Capillary Zone Electrophoresis ［J］. Anal Chem，1988，60（17）：18371838.

相似文献/References:

[1]皮晓强,王升高*,刘星星,等.微流控芯片的制备及其对糖类物质的检测[J].武汉工程大学学报,2016,38(1):52.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2016. 01. 009]
　PI Xiaoqiang,WANG Shenggao,LIU Xingxing,et al.Preparation of Microfludic Chip for Sugar Detection[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2016,38(01):52.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2016. 01. 009]

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：20080616基金项目：国家自然科学基金（50572075），武汉市科技攻关项目（200710421119），武汉工程大学研究生创新基金资助
作者简介：程莉莉（1983 ），女，安徽阜阳人，硕士研究生.研究方向：等离子体技术与薄膜材料.
 指导老师：王升高，男，教授，硕士生导师.研究方向：等离子体技术与薄膜材料.
更新日期/Last Update: